展開產品導航
設備智能化
產線智能化
良率智能化
ToolSimu
復雜設備調度最優解
智能設備調度與控制
中國首款自主可控的半導體智能設備調度與控制產品，實現復雜設備調度最優解，保障產業鏈安全
設備調度難題
晶圓駐留時間約束
加工模塊故障
晶圓重入腔室加工
活動時間波動
產品配方種類繁多
效益提升
設備產出提升
>10%
減低REWORK和報廢
100%
減少設備和產線死鎖
100%
PdM
設備狀態預警，避免意外宕機
智能設備監控及維護預警
中國市場獨家針對半導體行業的PdM解決方案，集狀態監測、故障診斷、趨勢分析、設備狀態提前預警、智能運維建議于一身，首次打破國外壟斷，實現國產化替代
設備調度難題
難度高、效率低
難以有效掌握設備狀態
定時、定量維護浪費成本
無法有效避免意外事件發生
效益提升
減少計劃外宕機時間
50%
增加設備使用壽命
3%～5%
減少設備維護成本
10%～40%
減少物料浪費
10%～20%
減少設備錯誤警報
90%
降低人力成本
>30%
DigiTwin
鏡像模型，洞見生產，優化運營
智能數字孿生
獨家首創國產半導體3D智能孿生技術解決方案，實現從物理世界到數字化世界，并從數字化世界反饋回到物理世界的過程，幫助企業提高生產效率
設備調度難題
資源種類繁多，運維復雜
突發事件通知、處理不及時
海量碎片化數據
生產調優成本高昂
效益提升
運營成本降低
>10%
資產運維效率提高
>15%
生產問題定位效率提升
>60%
生產調優成本降低
>20%
返功率降低
>10%
產品質量提升
>1%
APS
智能決策大腦
智能生產模擬、計劃與排程
中國唯一一款利用ROPN底層建模技術，對半導體和泛半導體進行模擬、計劃與排程的智能系統，助力產線效能趕超國際先進水平
設備調度難題
資源利用率低
產線WIP大幅波動
不能高效應對頻繁的計劃變更
生產周期（cycle time）長
高混合性生產需求
效益提升
CYCLE TIME降低
>10%
核心瓶頸設備利用率
>5%
降低由違反Q-TIME規則引起的REWORK
>80%
BATCH FACTOR提高
>20%
優化設備WIP及利用率VARIABILITY
>80%
降低生產計劃和排程團隊人力
>80%
RTD
實時調度，處理突發狀況
智能實時生產調度
針對光刻機等核心瓶頸工位，首款基于AI算法的實時調度解決方案。在高混合生產狀態及嚴苛生產規則條件下，幫助產線解決實時生產調度的重大難題
設備調度難題
產線資源種類和產品種類繁多
生產約束條件嚴格
協作關系復雜，生產連續性強
產線實時情況變化快，規則或人調度效率低
效益提升
提升FAB產出
3%～12%
CYCLE TIME降低
30%
提升資產、設備綜合利用率
2%～15%
SQIM
機器視覺，精確檢測預測
AI質檢和量測
全國產化的AI質檢軟硬件體系，通過國際領先人工智能技術，有效提高良率
設備調度難題
檢查效率低、周期長
數據時效性差、難以實現數據閉環
漏檢率、錯檢率高
半導體行業人才緊缺
效益提升
質檢精確率
>99%
提升量測效率
>80%
降低人力成本
>30%
降低實驗成本
>20%
質檢召回率
>95%
降低量測標準差
>50%
提高問題定位效率
80%
降低量測成本
>40%
